四探針方阻電阻率測定儀

簡要描述：四探針方阻電阻率測定儀硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及國標設計制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

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Product classification

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詳細介紹

LST-331普通四探針方阻電阻率測試儀

一、四探針方阻電阻率測定儀描述：

采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.

二、四探針方阻電阻率測定儀參照標準：

硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及國標設計制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

三.適用范圍：

適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析半導體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動測量和系數(shù)補償，并帶有溫度補償功能，自動轉換量程；采用芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報表

用于：覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關產(chǎn)品

四、.型號及參數(shù)

規(guī)格型model	LST-331
1.方塊電阻范圍	10^-5～2×10^5Ω/□
2.電阻率范圍	10^-6～2×10^6Ω-cm
測試電流范圍	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度	±0.1%
5.電阻精度	≤0.3%
6.顯示讀數(shù)	液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率
7.測試方式	普通單電測量
8.工作電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30W
9.誤差	≤4%（標準樣片結果）
10.選購功能	選購1.pc軟件；選購2.方形探頭；選購3.直線形探頭；選購4.測試平臺；5.標準電阻.
11.測試探頭	探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針
12.標準電阻（選購）	規(guī)格：1mΩ、10mΩ、100mΩ、1Ω、10Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩ、1MΩ

五、標準配置外訂購明細：

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